Tekniker och utrustning för analys, diagnostik och terapiTeknologi, industri, lantbruk
Mikro-elektromekaniska system
Mikro-elektromekaniska system
En typ av apparater med både elektriska och mekaniska delar som har åtminstone någon dimension i ett mikrometerintervall (mellan 1 mikrometer och 1 millimeter). Hit hör sensorer, manöverdon, mikrokanaler och mikropumpar.
"En mikro-elektromekanisk system (MEMS) är en integrerad enhet som innehåller mekaniska komponenter, sensorer, aktuatorer och elektronik på ett submillimeterstort chip, använt inom områden såsom lab-on-a-chip, rörelseövervakning och mikrofluidik."

Mikro-elektromekaniske system (MEMS) er definert som et lite, integrert system bestående av mekaniske og elektriske komponenter. Disse komponentene er typisk fabrikert på en mikroskopisk skala ved bruk av mikrolitografi og andre mikromaskinete teknologier. MEMS-enheter kan inneholde sensorer, aktuatorer eller både de to, og de kan være designet til å utføre en varierende række funksjoner i en rekke forskjellige applikasjoner.

Typiske eksempler på MEMS-enheter inkluderer accelerometere, gyroskoper, kapasitans- og piezoelektriske sensorer, mikropumper, mikrovibratorer og switches. Disse enhetene kan brukes i en rekke forskjellige applikasjoner, blant annet i mobiltelefoner, bilsystemer, medisinsk utstyr, fly- og romfartøy, industrielle overvåkningssystemer og miljøovervåking.