Tecnología de fabricación para hacer dispositivos microscópicos en el rango micrómetro (normalmente 1-100 micrómetros), tales como circuitos integrados o MEMS. El proceso usualmente involucra la replicación y fabricación paralela de cientos o millones de estructuras idénticas usando diversas técnicas de deposición de películas delgadas y llevar a cabo salas limpias en el medio ambiente controlado.